超精密表面形状測定装置

KURODAの精密技術の結晶

超精密表面形状測定装置（商品名：ナノメトロ®）は、当社の精密技術の結晶とも言える製品です。パソコンの構成部品であるCPUなどのLSIは、微細で高密度な回路が刻まれたシリコンウェーハからできています。この装置は、シリコンウェーハの平坦度をナノメートル（1ミリの百万分の1）レベルで測定する半導体製造に必要不可欠な装置です。